高溫是濕度傳感器的一種，基本形式都為運(yùn)用濕敏資料對水分子的吸附才能或?qū)λ肿赢a(chǎn)生物理效應(yīng)的辦法丈量濕度。有關(guān)濕度丈量，在16世紀(jì)就有記載了。許多古老的丈量辦法，如羅卓尼克、密析爾、維薩拉等的干濕球溫度計(jì)、毛發(fā)濕度計(jì)和露點(diǎn)計(jì)等至今仍被廣選用?，F(xiàn)代的工業(yè)技術(shù)請求精度高、高可靠和接連地丈量濕度，因此陸續(xù)呈現(xiàn)了品種繁復(fù)的濕敏元件。
高溫濕度傳感器丈量辦法：
多見的濕度丈量辦法有：動態(tài)法(雙壓法、雙溫法、分流法)，靜態(tài)法(飽滿鹽法、硫酸法)，露點(diǎn)法，干濕球法和電子式傳感器法。
① 雙壓法、雙溫法是根據(jù)熱力學(xué)p、v、t平衡原理，平衡時(shí)刻較長，分流法是根據(jù)肯/定濕氣和肯/定干空氣的準(zhǔn)確混合。因?yàn)檫x用了現(xiàn)代測控手段，這些設(shè)備能夠做得很精，卻因設(shè)備雜亂，貴重，運(yùn)作費(fèi)時(shí)費(fèi)工，主要作為規(guī)范計(jì)量之用，其丈量精度可達(dá)±2%rh以上。
② 靜態(tài)法中的飽滿鹽法，是濕度丈量中多見的辦法，簡略容易操作。但是飽滿鹽法對液、氣兩相的平衡請求卻很嚴(yán)，對環(huán)境溫度的安穩(wěn)請求還是比較高。用起來請求等很長時(shí)刻去平衡，低濕點(diǎn)請求更長。格外在室內(nèi)濕度和瓶內(nèi)濕度差值較大時(shí)，每次敞開都需求平衡6~8小時(shí)。
③ 露點(diǎn)法是丈量濕空氣到達(dá)飽滿時(shí)的溫度，是熱力學(xué)的直接結(jié)果，準(zhǔn)確度高，丈量范圍寬。計(jì)量用的精的露點(diǎn)儀準(zhǔn)確度可達(dá)±0.2℃乃至高。但用現(xiàn)代光-電原理的冷鏡式露點(diǎn)儀價(jià)格貴重，常和規(guī)范濕度發(fā)生器配套運(yùn)用。
④ 干濕球法，這是18世紀(jì)就發(fā)明的測濕辦法。歷史悠久，運(yùn)用普及。干濕球法是一種直接辦法，它用干濕球方程換算，且能算出濕度值，而此方程是有條件的：即在濕球鄰近的風(fēng)速需到達(dá)2.5m/s以上。普通用的干濕球溫度計(jì)將此條件簡化了，所以其準(zhǔn)確度需5~7%rh,干濕球也不歸于靜態(tài)法，不要簡略地以為只進(jìn)步兩支溫度計(jì)的丈量精度就等于進(jìn)步了濕度計(jì)的丈量精度。
⑤電子式濕度傳感器法
電子式濕度傳感器產(chǎn)品及濕度丈量都?xì)w結(jié)于90年代鼓起的職業(yè), 這些年來，在濕度傳感器研制范疇上取得了長足進(jìn)步。濕敏傳感器正從簡略的濕敏元件向集成化、智能化、多參數(shù)檢查的方向迅速發(fā)展，為開發(fā)新型濕度測控體系提供了有利的條件，也將濕度丈量技術(shù)進(jìn)步到新的一個(gè)水平。
